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全自動探針臺

全自動探針臺-P8.jpg
全自動探針臺-P12.jpg

概述

        自動探針臺是我司自主研發設計制造的一款設備,主要對晶圓制造中的晶圓CP測試。本設備采用針接觸式測試,可提供多個可調測試針及探針座;測試機與探針臺直接鏈接,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸,把測試機上輸出的信號精準地輸送至晶圓表面,快速高效的完成,對芯片進行各種電性及光效參數測試,自動完成篩選芯片的生產良率和效率,進而助力芯片后續的生產使用提質增效。

特點

1、高效、高精度測試,運行速度超200mm/s;

2、支持單點和連續測試;

3、測試箱與機臺直連自動控制,快速切換測試針卡;

4、全自動控制系統,測試軟件簡潔高效。

適用產品:

4/6/8/12″晶圓自動檢測

技術參數

產品名稱

全自動探

產品型號

P8/P12

晶圓規格參數

6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000?

Die Size

300-76000?

設備行程

X:0-350mm;Y:0-800mm,Z:0-70mm

設備精度/分辨率

X Y Z ≤2?   /   0.1?

XYZ軸最大運行速度

260mm/s

Theta參數

范圍:±5°   /   精度0.001°

機臺尺寸

2*1.8*1.8m(長寬高)

機臺重量

2600kg

 

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